EDA公共平台

芯片工艺分析和数据采集系统

日本奥林巴斯MX50半导体专用工业显微镜,配备美国共聚焦照明系统,物镜放大倍率为5X、10X、50X、100X,以及100X油镜,芯片工艺分析能力达到0.25μm,以及8英寸晶圆。 配备英国ProScan步进台,步进精度高达0.001μm.。



英国ProScan步进台


日本奥林巴斯工业显微镜